Máy đo độ dày lớp phủ iEDX-150T

Lĩnh vực ứng dụng

• Phân tích mạ nhiều lớp, 1 đến 5 lớp;
• Độ chính xác kiểm tra: 0,001 μm;
• Phân tích nguyên tố từ nhôm (Al) đến uranium (U);
• Thời gian đo: 10 ~ 30 giây;
• Máy dò SDD với độ phân giải năng lượng 125 ± 5eV;
• Cửa sổ Be của máy dò là 0,5mil (12,7μm);
• Độ chính xác của phép đo và phân tích độ dày lớp phủ có thể đạt 0,001μm.
• Ống tia X vi tiêu điểm 50kV / 1mA, mục tiêu Molypden, Rhodium;
• 6 ống chuẩn trực và nhiều bộ lọc tự động chuyển đổi;
• Nền tảng di động ba chiều XYZ, tải trọng MAX là 5 kg;
• Camera CCD độ nét cao (2 triệu điểm ảnh), giám sát chính xác vị trí;
• Phù hợp đường cong deconvolution phi tuyến đa biến;
• Phân tích FP / MLSQ hiệu suất cao;
• Kích thước thiết bị: 618 × 525 × 490mm;
• Kích thước bàn mẫu: 250 × 220mm;
• Phạm vi di chuyển của bàn để mẫu: 80mm trước, sau, trái và phải, và 90mm chiều cao.

Giao diện bản đồ

• Hỗ trợ phần mềm phân tích miễn phí;
• Bệ phân tích và buồng mẫu lớn;
• Tích hợp 2 giao diện phân tích lớp phủ và giao diện phân tích thành phần hợp kim trên 1 màn hình

Kết quả báo cáo phân tích

• In báo cáo phân tích trực tiếp;
• Báo cáo có thể được chuyển đổi sang định dạng PDF, EXCEL.